李玉琢博士是化學(xué)機(jī)械研磨（CMP）行業(yè)著名專家、美國Clarkson大學(xué)教授，他在CMP世界中享有極高的知名度，近期，記者對李博士進(jìn)行了專訪。

　　您是怎樣進(jìn)入CMPCMP研究領(lǐng)域的？

　　我一直以來都想成為一名教師。我被神秘的化學(xué)反應(yīng)及材質(zhì)研究吸引著,而且我認(rèn)為優(yōu)秀的教師必定首先是一位優(yōu)秀的研究者。我自中國南開大學(xué)高分子專業(yè)畢業(yè)后進(jìn)入Lllions大學(xué)并取得有機(jī)化學(xué)博士學(xué)位,進(jìn)而成為一名其大學(xué)研究中心的一名教授。在1997年,帶領(lǐng)我進(jìn)入CMP研究領(lǐng)域的S.V.Babu教授，介紹我一起參與在由Ferro&NYSERDA提攜的銅制CMP研究機(jī)制的研究項(xiàng)目。一方面我自身具有的豐富有機(jī)和過氧化氫化學(xué)的知識為該研究項(xiàng)目提供了其所需的幫助，另一方面項(xiàng)目本身也為我提供了一個(gè)良好的機(jī)會，可以致力于微電子學(xué)的研究開發(fā)。我很快意識到我優(yōu)秀的有機(jī)化學(xué)知識背景能夠給CMP團(tuán)隊(duì)帶來一個(gè)很好的研究預(yù)期效果。我想我已經(jīng)能夠創(chuàng)造性地并且能夠有效地利用那些研究成果為CMP領(lǐng)域服務(wù)。請您說明一下

　　請您說明一下CMPCMP的未來發(fā)展趨勢

　　我們致力于CMP消耗品例如研磨液或研磨墊的研發(fā)。關(guān)于研磨液，從超硬金剛石至極為柔軟的膠團(tuán)囊泡，我們學(xué)習(xí)到各種各樣的磨蝕微粒排列，從而啟發(fā)我們推動在化工互相作用中化學(xué)添加劑與研磨微粒的表面吸附的競爭，并使之影響于CMP研磨液的生產(chǎn)工藝。我們一直在研究機(jī)械原理以及CMP生產(chǎn)工序中不斷出現(xiàn)的缺陷，就如EOE工藝。對于研磨墊，我們研究的重點(diǎn)是適合各種研磨液工藝使用的新一代的研磨墊，我們稱之為Reactive Pad。

　　什么使你對從事CMPCMP研發(fā)如此感興趣？

　　我們可以逐漸地把創(chuàng)新性的思想引入并實(shí)施在CMP過程的諸多具有挑戰(zhàn)性的方面。作為一名化學(xué)家，這是令人興奮的事情。我們的研究能夠?qū)δ撤N產(chǎn)品的開發(fā)有所幫助，這種產(chǎn)品的問世，將對從冷卻器件到長壽命的裝置這類微電子產(chǎn)品的制造起到關(guān)鍵作用。

　　對于半導(dǎo)體及CMPCMP業(yè)界有何遠(yuǎn)見？

　　以及Cu CMP的技術(shù)發(fā)展趨勢，請談?wù)勀�的看法。的技術(shù)發(fā)展趨勢，請談?wù)勀�的看法。我認(rèn)為摩爾定律將繼續(xù)有效，而且會不斷更新最小極限。半導(dǎo)體工藝也在以令人驚訝的速度在刷新技術(shù)。我們的科學(xué)家工程師們也將不斷提出他們自己的新想法，最終找到可以打開10納米甚至5納米研究的困難之結(jié)癥的通道。CMP也會繼續(xù)得到重大意義上的發(fā)展，在半導(dǎo)體制造業(yè)的技術(shù)上會突破22納米。我認(rèn)為目前在10納米的技術(shù)范圍內(nèi)尚未找出銅的可體換互相材料。在CMP世界中”化學(xué)”與”機(jī)械”的橋梁是非常令人著迷的.

　　金剛石的展望

　　對于金剛石，我們已經(jīng)有創(chuàng)新性的想法，并且得到實(shí)現(xiàn)。這些方法用來處理材料連接的阻礙作用、熱散失、降低使用缺陷脆性材料時(shí)的缺陷以及顯著降低CMP操作的成本。

　　請說說你們正在進(jìn)行的除CMPCMP以外其他方面的研究？

　　除了CMP消耗品的研究外，我們在其他領(lǐng)域也取得了突破性的進(jìn)展，　例如　醫(yī)療成像的對比代理 (AGEN)的研究，可控藥物釋放機(jī)制，能量獨(dú)立的新的光催化劑等等。

　　還有什么想告訴我們的嗎？

　　我們成功的關(guān)鍵是我們的學(xué)生（在學(xué)生及已畢業(yè)的），博士后，以及那些具有高效而富有創(chuàng)造性工作的訪問學(xué)者。而且極其幸運(yùn)的是，　我們的研究隊(duì)伍得到CLARKSON大學(xué)的強(qiáng)大支持。CLARKSON大學(xué)不僅提供了學(xué)生良好的教育環(huán)境，并且在給教師提供大量與工業(yè)界合作的機(jī)會方面是獨(dú)一無二的。高級材料過程(CAMP)中心就是其中一個(gè)極為突出的例子。